化学工学会/編集 -- 朝倉書店 -- 1991.6 -- 571.6

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 参考図書コーナー /571/R/50 1102537701 一般 禁帯 在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトルCVDハンドブック
タイトルカナシーヴイディー ハンドブック
著者 化学工学会 /編集  
著者カナカガク コウガクカイ
出版地東京
出版者朝倉書店
出版年1991.6
ページ数800,18p
大きさ22cm
内容紹介CVDは気体原料から薄膜や微粒子などの固体を合成する技術の総称であり、プロセスのどこかに化学反応が関係する。まだ十分に体系化が進んでいないCVDを専門とした、はじめてのハンドブック。
一般件名化学蒸着-便覧
NDC分類(8版) 571.6
ISBN4-254-25234-X
書誌番号1100173393

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