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CVDハンドブック
禁帯出
化学工学会/編集 -- 朝倉書店 -- 1991.6 -- 571.6
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
県立
参考図書コーナー
/571/R/50
1102537701
一般
禁帯
在架
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資料詳細
タイトル
CVDハンドブック
タイトルカナ
シーヴイディー ハンドブック
著者
化学工学会
/編集
著者カナ
カガク コウガクカイ
出版地
東京
出版者
朝倉書店
出版年
1991.6
ページ数
800,18p
大きさ
22cm
内容紹介
CVDは気体原料から薄膜や微粒子などの固体を合成する技術の総称であり、プロセスのどこかに化学反応が関係する。まだ十分に体系化が進んでいないCVDを専門とした、はじめてのハンドブック。
一般件名
化学蒸着-便覧
NDC分類(8版)
571.6
ISBN
4-254-25234-X
書誌番号
1100173393
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