日本学術振興会第132委員会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.10 -- 549.1

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 参考図書コーナー /549/1R/6 1104273737 一般 禁帯 在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトル電子・イオンビームハンドブック
タイトルカナデンシ イオン ビーム ハンドブック
著者 日本学術振興会第132委員会 /編  
著者カナニホン ガクジュツ シンコウカイ
版表示第3版
出版地東京
出版者日刊工業新聞社
出版年1998.10
ページ数963p
大きさ22cm
内容紹介ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。
一般件名電子線-便覧
一般件名イオンビーム-便覧
NDC分類(8版) 549.1
ISBN4-526-04247-1
書誌番号1104389390

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