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半導体プロセス技術 貸出可

丹呉 浩侑／編 -- 培風館 -- 1998.11 -- 549.8

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県立 書庫 /549/8/37-9 1104237365 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトル半導体プロセス技術
タイトルカナハンドウタイ プロセス ギジュツ
著者 丹呉 浩侑 ／編  
著者カナタンゴ ヒロユキ
出版地東京
出版者培風館
出版年1998.11
ページ数325p
大きさ22cm
シリーズ名半導体工学シリーズ
シリーズ名カナハンドウタイ コウガク シリーズ
シリーズ巻次9
内容紹介現在のLSIの基幹を成すSi MOS LSIプロセスを中心に記述。MOSトランジスタの基本知識等を概観した後、リソグラフィ、不純物導入技術などからプロセス評価技術まで、個々の要素プロセスの内容を体系的に詳述。
一般件名半導体
NDC分類(8版) 549.8
ISBN4-563-03298-0
書誌番号1104397370

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