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薄膜化技術 貸出可

和佐 清孝／著 -- 共立出版 -- 2002.6 -- 549.8

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県立 書庫 /549/8/85 1105363638 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトル薄膜化技術
タイトルカナハクマクカ ギジュツ
著者 和佐 清孝 ／著, 早川 茂 ／著  
著者カナワサ キヨタカ,ハヤカワ シゲル
版表示第3版
出版地東京
出版者共立出版
出版年2002.6
ページ数316p
大きさ22cm
内容紹介原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
一般件名薄膜
NDC分類(8版) 549.8
ISBN4-320-08613-9
書誌番号1105447276

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