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真空ハンドブック 貸出可

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 書庫M4 /534/93/6 1105365494 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトル真空ハンドブック
タイトルカナシンクウ ハンドブック
著者 アルバック ／編  
著者カナアルバック
版表示新版
出版地東京
出版者オーム社
出版年2002.7
ページ数331p
大きさ27cm
内容紹介半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
一般件名真空技術-便覧
NDC分類(8版) 534.93
ISBN4-274-08727-1
書誌番号1105454862

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