前田 和夫/著 -- 工業調査会 -- 2004.2 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 書庫M4 /549/8/108 1106055322 一般   在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトルはじめての半導体ナノプロセス
タイトルカナハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
著者 前田 和夫 /著  
著者カナマエダ カズオ
出版地東京
出版者工業調査会
出版年2004.2
ページ数239p
大きさ21cm
シリーズ名ビギナーズブックス
シリーズ名カナビギナーズ ブックス
シリーズ巻次32
内容紹介ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。
一般件名半導体
一般件名ナノテクノロジー
NDC分類(8版) 549.8
ISBN4-7693-1225-3
書誌番号1106057764

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