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半導体CMP用語事典 禁帯出

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編 -- オーム社 -- 2008.10 -- 549.7

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県立 参考図書コーナー /549/7R/57 1106825480 一般 禁帯 在架 iLisvirtual

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タイトル半導体CMP用語事典
タイトルカナハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン
著者 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 ／編  
著者カナセイミツ コウガクカイ
出版地東京
出版者オーム社
出版年2008.10
ページ数7,262p
大きさ19cm
内容紹介加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。
一般件名集積回路-辞典
NDC分類(8版) 549.7
ISBN13978-4-274-20612-2
本文の言語jpn
書誌番号1106557871

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