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薄膜工学 貸出可

金原 粲／監修 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 549.8

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県立 書庫 /549/8/139 1107456792 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトル薄膜工学
タイトルカナハクマク コウガク
著者 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著, 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画  
著者カナキンバラ アキラ,ヨシダ サダフミ,コンドウ タカシ,ニホン ガクジュツ シンコウカイ
版表示第2版
出版地東京
出版者丸善出版
出版年2011.6
ページ数12,295p
大きさ21cm
版及び書誌的来歴注記初版:丸善 2003年刊
内容紹介薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
一般件名薄膜
NDC分類(8版) 549.8
ISBN13978-4-621-08414-4
本文の言語jpn
書誌番号1109257047

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