前田 和夫/著 -- 技術評論社 -- 2011.8 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 書庫M4 /549/8/151 1107829010 一般   在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトルはじめての半導体プロセス
タイトルカナハジメテ ノ ハンドウタイ プロセス
著者 前田 和夫 /著  
著者カナマエダ カズオ
出版地東京
出版者技術評論社
出版年2011.8
ページ数12,291p
大きさ21cm
シリーズ名現場の即戦力
シリーズ名カナゲンバ ノ ソクセンリョク
版及び書誌的来歴注記工業調査会 2000年刊の再刊
書誌年譜年表文献:p281~286
内容紹介半導体デバイスの種類と構造、基本プロセス技術といった基礎知識から、VLSIデバイスの最先端分野の現状と課題まで、半導体製造技術のなかの半導体プロセスについて幅広く解説した入門書。
一般件名半導体
NDC分類(8版) 549.8
ISBN13978-4-7741-4749-9
本文の言語jpn
書誌番号1109263438

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