佐藤 淳一/著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 549.7

  • 総合評価
    5段階評価の0.0
    (0)
  • レビュー
    0

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 書庫 /549/7/62 1107662623 一般   在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトルよくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
タイトルカナヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
副書名リソグラフィ技術の核心に迫る
副書名カナリソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル
著者 佐藤 淳一 /著  
著者カナサトウ ジュンイチ
出版地東京
出版者秀和システム
出版年2011.10
ページ数271p
大きさ21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名カナズカイ ニュウモン
シリーズ副書名How‐nual
シリーズ副書名カナハウニュアル
シリーズ名 図解入門
シリーズ名カナヴィジュアル ガイドブック
書誌年譜年表文献:p271
内容紹介リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
一般件名リソグラフィー
一般件名半導体
NDC分類(8版) 549.7
ISBN13978-4-7980-3063-0
本文の言語jpn
書誌番号1109280753

レビュー一覧

レビューが登録されていません。