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    下川雅嗣
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ドライプロセス表面処理大全 貸出可

関東学院大学材料・表面工学研究所／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2019.3 -- 566.7

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県立 一般閲覧室 /566/7/38 1109653703 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトルドライプロセス表面処理大全
タイトルカナドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン
著者 関東学院大学材料・表面工学研究所 ／編  
著者カナカントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版地東京
出版者日刊工業新聞社
出版年2019.3
ページ数285p
大きさ21cm
シリーズ名 技術大全シリーズ
シリーズ名カナギジュツ タイゼン シリーズ
書誌年譜年表文献:p271～276
内容紹介真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
一般件名金属表面処理
一般件名薄膜
NDC分類(8版) 566.7
ISBN13978-4-526-07968-9
本文の言語jpn
書誌番号1111522527

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