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ナノインプリントの開発とデバイス応用 貸出可

松井 真二／監修 -- シーエムシー出版 -- 2018.3 -- 549

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県立 一般閲覧室 /549//197 1108905102 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトルナノインプリントの開発とデバイス応用
タイトルカナナノインプリント ノ カイハツ ト デバイス オウヨウ
並列タイトルDevelopment of Nanoimprint and Device Applications
著者 松井 真二 ／監修  
著者カナマツイ シンジ
特殊な版表示普及版
出版地東京
出版者シーエムシー出版
出版年2018.3
ページ数7,282p
大きさ26cm
シリーズ名 エレクトロニクスシリーズ
シリーズ名カナエレクトロニクス シリーズ
内容紹介ナノインプリント技術に取り組む初心者から第一線の技術者や研究者までを対象に、ナノインプリントの基礎、最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。
一般件名ナノインプリント
NDC分類(8版) 549
ISBN13978-4-7813-1272-9
本文の言語jpn
書誌番号1111425247

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