資料詳細

フォトレジスト材料開発の新展開貸出可

上田充／監修 -- シーエムシー出版 -- 2015.11 -- 549.7

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立	書庫	/549/7/64	1108337171	一般		在架

タイトル	フォトレジスト材料開発の新展開
タイトルカナ	フォトレジストザイリョウカイハツノシンテンカイ
並列タイトル	New Trends of Photoresists
著者	上田充／監修
著者カナ	ウエダミツル
特殊な版表示	普及版
出版地	東京
出版者	シーエムシー出版
出版年	2015.11
ページ数	7,317p
大きさ	26cm
シリーズ名	エレクトロニクスシリーズ
シリーズ名カナ	エレクトロニクスシリーズ
内容紹介	現在多方面で使用されている、また将来用いられる微細加工用レジスト材料。最前線で活躍している研究者たちが、その最新の技術動向や問題点、将来の展望について詳述する。
一般件名	リソグラフィー
一般件名	感光性樹脂
NDC分類(8版)	549.7
ISBN13	978-4-7813-1039-8
本文の言語	jpn
書誌番号	1111202280

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