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プラズマプロセス技術 貸出可

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4

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県立 書庫 /501/4/116 1108982709 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトルプラズマプロセス技術
タイトルカナプラズマ プロセス ギジュツ
副書名ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
副書名カナナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
著者 プラズマ・核融合学会 ／編  
著者カナプラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版地東京
出版者森北出版
出版年2017.1
ページ数7,273p
大きさ22cm
書誌年譜年表文献:章末
内容紹介超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
一般件名材料科学
一般件名プラズマ物理学
NDC分類(8版) 501.4
ISBN13978-4-627-77561-9
本文の言語jpn
書誌番号1111322124

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