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はじめての半導体ドライエッチング技術 貸出可

野尻 一男／著 -- 技術評論社 -- 2020.11 -- 549.8

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県立 一般閲覧室 /549/8/176 1109543229 一般 　 在架 iLisvirtual

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タイトルはじめての半導体ドライエッチング技術
タイトルカナハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
著者 野尻 一男 ／著  
著者カナノジリ カズオ
版表示改訂版
出版地東京
出版者技術評論社
出版年2020.11
ページ数10,188p
大きさ21cm
シリーズ名 現場の即戦力
シリーズ名カナゲンバ ノ ソクセンリョク
書誌年譜年表文献:章末
内容紹介ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
一般件名半導体
NDC分類(8版) 549.8
ISBN13978-4-297-11599-9
本文の言語jpn
書誌番号1111656603

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